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Bild: Sensor mit Sockel
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Merkmale:
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Wärmeleitfähigkeits-Sensor
für Gase in Silizium-Mikromechanik-Ausführung
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Minimale
Leistungsaufnahme, niedrige Temperaturen
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Sehr
kleine Abmessungen, kurze Zeitkonstanten
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Messung
an kleinsten Gasvolumina
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Keine
Strömungsabhängigkeit, Gasaustausch durch Diffusion
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Integrierte
Widerstände zur Temperaturkompensation
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Aufbau
auf TO8-Sockel, stoßfest
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